SEM (Scanning electron microsopce) 분석 [수정완료]
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-전자 현미경으로 불리며 OM보다 백배 이상 확대가 가능한 고기능 현미경이다
-SEM의 경우는 진공의 챔버 안의 기기에서 전자를 방출하고 전자가 시편에 충돌 후 회절(튀어나옴) 되는 전자를 스캔해 컴퓨터 이미지로 만드는 구조를 사용하고 있다.
-SEM은 여러 구조로 되어 있지만 간략하게 주로 전자총 (electron gun), 시편, 충돌 후 튀어나오는 전자의 스캐너시스템으로 이루어져 있다.
[출처]
-메탈캠퍼스, 'OM, SEM 현미경 기본 분석 정의와 기본 원리'
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